中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司成立于2004年，其自成立以来，就致力为集成电路和泛半导体行业提供各种高质量产品和优质服务，发展至今，现也具有自主的研发科技，历来也曾先后申请了1200多项专利，也曾入选2022中国创新力企业50强榜单。